电子束(diàn zǐ shù)的意思

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1、本文采用有无离子源辅助电子束蒸发两种工艺制备了Ta2O5薄膜，研究了制备工艺对Ta2O5薄膜性能的影响。

2、使用PMMA电子束抗蚀剂，在该系统上获得0.1微米的线分辨率。

3、为满足纳米级电子束曝光系统的要求，设计了高速图形发生器。

4、在圆形硅基底上采用电子束加热蒸发制备了二氧化钛薄膜。

5、研究了角锥喇叭天线的电子束焊接工艺,并与传统

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